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专利名称: 一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 20131022
专利号: 201310506605.3
第一发明人: 赵彦辉、肖金泉、于宝海、华伟刚、宫骏、孙超
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 20160113
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
   

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