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专利库
专利名称:
一种与金属形成欧姆接触的硅纳米薄膜及其制作方法
专利类别:
发明
申请号:
201810948501.0
申请日期:
20180820
专利号:
201810948501.0
第一发明人:
刘驰、魏玉宁、孙东明、成会明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20200918
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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